為了防止無塵室(shi)受到污染，室(shi)內必須保(bao)持(chi)正(zheng)壓(ya)，如果無塵室(shi)內壓(ya)力過高(gao)，造成(cheng)門(men)扇不易開關，因而使用液壓(ya)閥門(men)來保(bao)持(chi)無塵室(shi)內之(zhi)(zhi)微正(zheng)壓(ya)，通過泄(xie)壓(ya)風(feng)門(men)的風(feng)量一般在100-120m3/h之(zhi)(zhi)間(jian)，保(bao)持(chi)壓(ya)差在5-40Pa之(zhi)(zhi)間(jian)。