為了防止無塵室(shi)受到污(wu)染(ran)，室(shi)內(nei)必須(xu)保持正壓(ya)(ya)，如果(guo)無塵室(shi)內(nei)壓(ya)(ya)力過高，造(zao)成(cheng)門(men)扇不易(yi)開關，因而使用(yong)液(ye)壓(ya)(ya)閥(fa)門(men)來保持無塵室(shi)內(nei)之(zhi)微正壓(ya)(ya)，通過泄壓(ya)(ya)風(feng)門(men)的風(feng)量一(yi)般(ban)在100-120m3/h之(zhi)間(jian)(jian)，保持壓(ya)(ya)差在5-40Pa之(zhi)間(jian)(jian)。